EFEM 모듈이란 무엇일까요?

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EFEM은 End Front Equipment Module의 약자로서 반도체 공정 설비 내에서 Wafer의 Loading과 Unloading 이송을 자동으로 진행하도록 합니다. 이는 모든 공정 장비에 적용되는 표준 인터페이스 모듈로서 공정의 청정도 유지와 설비의 Tact Time에 큰 영향을 미칩니다.

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이 EFEM은 반도체 공정 장비와 연결되는 Cluster Tool System의 일부로서 대기 상태에서 웨이퍼를 이송하는 장치입니다.

Lord Port Module, ATM Robot, Aligner, EFEM Software 등으로 구성되는데 먼저 Lord Port Module에 대해서 알아보도록 하겠습니다.

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(1). LPM(Lord Port Module)

- Lord Port Module은 Wafer를 담아두는 FOUP Door를 열고 닫아 웨이퍼가 반송될 수 있도록 합니다. 이것의 수량과 대기 로봇의 주행 타입에 따라 종류가 구분됩니다. Load Port Module 수량은 일반적으로 Process Module의 Process Time 등의 고객 사양에 따라 달라집니다.

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(2). Aligner

LPM에서 ATM이 가지고 온 웨이퍼를 ATM의 End Effector에 제대로 정렬시키는 역할이다.

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(3). ATM(Atmosmhere Transfer Module) Robot

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이 ATM Robot은 LPM으로부터 가지고 온 Wafer를 Load Lock Chamber에 가져다 줍니다.

이 Load Lock Chamber는 저진공 상태로 만들어 대기상태로부터 TM Chamber나 PM Chamber가 공기의 확산을 막아줍니다.

가지고 온 Load Lock Chamber의 Wafer는 VTM에 의해 TM Chamber로 이동하여 각각의 PM Chamber로 이동하여

공정이 진행됩니다.

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다음 시간에는 Cluster Tool System에 대해서 알아보도록 하겠습니다.

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